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材料性能
项目
规格
检测方法
生长方式
直拉法
--
结晶性
单晶
--
几何尺寸
G10-L：182.2*183.75*φ256mm
M11-L：182.2*191.6*φ262.5
硅片自动检测设备
厚度
130±8μm
硅片自动检测设备
项目:
生长方式
规格:
直拉法
检测方法:
--
项目:
结晶性
规格:
单晶
检测方法:
--
项目:
几何尺寸
规格:
G10-L：182.2*183.75*φ256mm
M11-L：182.2*191.6*φ262.5
检测方法:
硅片自动检测设备
项目:
厚度
规格:
130±8μm
检测方法:
硅片自动检测设备
电性能
项目
规格
检测方法
电阻率
0.7-1.4 Ω.cm
硅片自动检测设备
少子寿命
≥1000/μs
瞬态光电导衰减法
注入水平：5E14cm-3（Sinton BCT-400）
氧含量
≤6E+17 at/cm³
傅里叶变换红外光谱仪
碳含量
≤5E+16 at/cm³
傅里叶变换红外光谱仪
项目:
电阻率
规格:
0.7-1.4 Ω.cm
检测方法:
硅片自动检测设备
项目:
少子寿命
规格:
≥1000/μs
检测方法:
瞬态光电导衰减法
注入水平：5E14cm-3（Sinton BCT-400）
项目:
氧含量
规格:
≤6E+17 at/cm³
检测方法:
傅里叶变换红外光谱仪
项目:
碳含量
规格:
≤5E+16 at/cm³
检测方法:
傅里叶变换红外光谱仪